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ISO Class6 & 千级
当前位置:首页 - 洁净车间等级 - ISO Class6 & 千级
发布者:磊建净化
发布时间:2022-01-20
点击量:0次
千级洁净室案例简介:
承接单位:上海磊建净化
洁净等级:千级、 百级
工程定位:浙江***半导体材料有限公司
洁净室平面布局:
洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。
洁净室的平面布置可以有以下几种方式:
外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
内廊式:洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较高,甚至和洁净室同级。
两端式:洁净区设在一边,另一边设准洁净和辅助用房。
核心式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为核心,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能
洁净室装修实拍
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
洁净室的空气洁净度,进行下列测试:
空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。
静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。
动态测试:洁净室已处于正常生产状态下进行测试。无尘室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
千级洁净室洁净度:
将不大于0.5微米粒径的尘埃粒子数量控制在每立方米3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
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