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多晶硅生产净化车间洁净室装修设计及施工方法_磊建净化

发布者:磊建净化

发布时间:2023-03-06

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随着电子、化工行业的飞迅发展,对产品纯度的要求日益提高,而生产、加工环境的洁净度直接影响着产品的纯度.洁净室的发展,对产品纯度要求极高的多晶硅行业的发展与兴起使得洁净室更充分的应用于化工领域。下面介绍一下多晶硅生产净化车间洁净室装修设计及施工方法。


多晶硅生产净化车间洁净室装修设计及施工工法_磊建净化


  一、多晶硅生产净化车间洁净室装修设计


  1、洁净室净化原理


  1.1、净化程序 气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→通风管道→高效过滤器→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化。重复以上过程,即可达到净化目的。


  2、净化参数

  1) 换气参数 100000≧15次,1000≧30次

  2) 压差 主车间相邻房间≧5Pa

  3) 温度 冬季﹥16℃±2℃ 夏季﹤26℃±2℃

  4) 湿度 45%~65%

  5) 噪声≤65Db(A)

  6) 新风补风量为总风量的10%~30%

  洁净技术需要有洁净厂房和洁净设备来支撑,洁净室是洁净厂房的核心。


  洁净厂房是指生产工艺有空气洁净要求的厂房。洁净厂房是一个系统工程,它由空调机、供热、供冷、送回风管、过滤、自控等系统组成。洁净级别要求高的,还有风机过滤单元(FFU)、局部层流罩、墙板、地面组成。


  3、洁净厂房的结构材料

  1) 净化厂房墙、顶板采用75mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。.

  2) 圆弧墙角、门等采用专用氧化铝型材制造。

  3) 地面采用环氧自流坪,保证洁净室洁净度。

  4) 送回风管采用热镀锌钢板制作。

  5) 高效送风采用不锈钢框架,美观清洁;冲网板采用烤漆铝板,不生锈、不产尘、易清洁。


多晶硅生产净化车间洁净室装修设计施工_磊建净化


  二、多晶硅生产净化车间洁净室装修施工工法


  1、施工流程

  施工流程遵循先有尘后无尘、先上后下的原则。具体施工顺序如下:

  施工准备→测量放线→二次排版→材料加工→可调节吊杆安装→槽铝安装→壁板安装→T型铝安装→顶板安装→彩钢板调平并固定→门窗安装→阴阳角安装→风口安装→灯具安装→地面施工→过滤器安装→硅胶密封→保护膜拆除→清洁→洁净度检测→竣工验收。


  2、材料及施工机具

  洁净室壁板及顶板要求防静电、耐腐蚀、易清洁、不产尘、不集尘、接缝少,根据工艺要求不同采用不同材质的彩钢夹芯板,一般有阻燃自熄聚苯乙烯板、聚氨酯材料、石膏板、岩棉板、纸蜂窝板、铝蜂窝板等。厚度一般50mm~80mm不等.地面装饰材料要求具有良好的耐磨性能、防滑、防静电、耐腐蚀、易清洁、不易起尘开裂、二次施工简便、接缝少或无接缝。洁净室常用的装饰材料有嵌铜条水磨石地面、环氧自流平地面、防静电PVC地板和聚氯乙烯软板等。


多晶硅生产净化车间洁净室装修设计及施工_磊建净化