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ISO Class5 & 百级

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ISO Class5 & 半导体百级洁净室

发布者:磊建净化

发布时间:2022-01-24

点击量:0

半导体洁净室工程案例简介:

洁净等级:百级、千级

承接单位:上海磊建净化

案例定位:上海***微电子科技有限公司


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一般在百级-万级的半导体洁净室平面装修方案中,磊建净化设计师都会依据人流和物流净化流向来精确规划布局平面。

  工作人员的净化路线为:

  入口→换鞋→更换外出服→洗浴→清洁走廊→二次洗浴→换洁净服→风淋室→洁净生产区。

  物品的净化路线为:

  入口→原料库→粗洁净→传递窗→精洁净→传递窗→洁净生产区→传递窗→包装→成品库。

  依据以上流向设计各洁净区和辅助区的布局,再结合各个不同工序的洁净室要求的空气洁净度,尽可能将污染的概率和对器件的潜在故障不良因素压到最低。



  洁净室装修实拍



 半导体百级洁净室装修工段区域需要做到密封的状态,洁净室需维持一定的正压,保证洁净室不受污染或少受污染,以维持其洁净度。磊建净化设计师一般会经过大量的冷热负荷计算、风量平衡计算等,合理的工程设计、优化,工程安装、调试,来确保整个百级洁净室净化系统的正常运行。各工段根据洁净室特性、净化系统特性等选择合适的送风方式,不同的送风方式各有利弊,实际操作中设计师会根据实际需求进行气流组织设计。



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半导体百级洁净室装修