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ISO Class5 & 百级

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ISO Class5 & 半导体百级无尘室

发布者:磊建净化

发布时间:2022-01-24

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百级无尘室案例简介:

承接单位:上海磊建净化

洁净等级:百级、千级

工程定位:浙江***半导体材料有限公司



  无尘室的平面布局:

  无尘室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。

  无尘室的平面布置可以有以下几种方式:

  外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。

  内廊式:无尘室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较高,甚至和无尘室同级。

  两端式:洁净区设在一边,另一边设准洁净和辅助用房。

  核心式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为核心,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能



百级无尘室装修实拍



  百级无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。



  百级无尘室的空气洁净度,进行下列测试:

  空态测试:无尘室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。

  静态测试:无尘室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。

  动态测试:无尘室已处于正常生产状态下进行测试。无尘室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

  百级无尘室工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数也可采用滤膜显微镜计数法。



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半导体百级洁净室装修

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